7.可采用滚涂或其它涂敷方式,操作简单, 自动化程度提高了,产量也随之提高.
8.更重要的是湿膜分辨率也很高,再加之湿膜抗蚀性能也好,可耐镀金工艺,这些特异功能干膜是无法问其项背的。
正是由于投资与生产成本的节约,自动化程度和产量的提高,使全球范围内使用湿膜和滚涂技术的兴趣越来越高。
如今主要使用负性光致抗蚀剂,使用设备为双面滚涂带烘干一体的设备。.虽然,能够采用高质量的喷涂技术,但由于光致抗蚀剂比喷漆要贵得多,加之喷涂技术也不成熟,如果算上重复喷涂的损失,那么成本也很高;而且喷涂时,有大量的溶剂被蒸发,对操作者的身体影响极大,更别说对环境的污染了。
有些厂家为了减小成本,避免昂贵的设备投入,从而采用浸涂,虽然它效率极高,但是它有一个致命的缺陷就是浸涂物上与下\顶面与底面的涂层不均匀,易产生流挂现象。
采用幕帘涂布(淋涂),其设备实在是太昂贵了,话又说回来,它每次也只能单面涂布,效率也不是很高。丝网印刷,作为一种较为传统和原始的涂敷技术,它存在自动化程度低、人力、物力浪费又大;而且效率又不高等缺陷。
至于电泳法,足够的涂布厚度对它来说,简直是一种奢望,加之设备复杂,投资高,耗电多,污染大等局限,使它无法用于内层制作。此种原因,便把滚涂技术推上了议程。
湿膜的组分及配方
湿膜作为一种抗蚀剂,其主要组分如下表:
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