硅谐振式压力传感硅谐振式压力传感-技术文章,种谐 振膜片式压力传感器，只不过是利用压电反馈系统维持膜片振动，代替电磁激励器而已，其它的部分基本相同。二是立体型谐 振式膜片压力传感器。它是在单晶硅膜上设置固定电极，而在其上方再加工可动电极和谐 振器，硅膜和谐振器分别利用各向异性腐蚀技术和外延技术制作。当压力作用到膜片上时，膜片发生弯曲形变，通过支柱给谐振器施加了轴向力，从而使其谐振频率发生变化。在这种情况下，激励谐振器的方法有两种，一是在电极间施加静电方法；二是利用激光产生热应变方法。

    硅谐振式压力传感器是一种新型的结构型压力传感器，它比扩散硅式之类的物性型压力传感器具有更高的分辨率、灵活度和重复性。今后，随着硅微机械加工技术和外延技术的发展，将会使硅谐振式压力传感器的性能得到更大的提高，其应用领域也将会更加拓宽。

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